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洁净工程的净化室中的温度和气压控制
来源:www.cqyubang.cn 发布时间:2021/5/27 15:32:33
环境保护越来越受到人们的关注,特别是雾霾天气越来越多。净化器是环境保护措施之一,如何利用净化器做好环境保护工作,下面讲一下净化工程的控制。
洁净室内温度和湿度的控制。
洁净空间的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的情况下,应考虑人的舒适度。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温度和湿度的要求越来越严格。
以后还要列出具体工艺对温度的要求,但作为一般原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求也越来越小。举例来说,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃与硅片作为掩膜材料的热膨胀系数的差异越来越小。

硅片直径100um,温度升高1度,会造成0.24um线性膨胀,因此必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗后,会对产品造成污染,尤其是怕钠的半导体车间,这种车间不能超过25度。

湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露。如果发生在精密设备或电路中,会造成各种事故。相对湿度在50%时容易生锈。此外,当湿度过高时,硅片表面附着的灰尘会通过空气中的水分子化学吸附在表面,难以去除。
相对湿度越高,附着力越难去除,但相对湿度低于30%时,由于静电的作用,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易破坏。硅片生产的温度范围为35-45%。
洁净室内的气压规定。
对于大多数清洁空间来说,为了防止外部污染,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维护一般应符合以下原则:
1.清洁空间的压力高于非清洁空间的压力。
2.高洁净度空间的压力高于相邻低洁净度空间。
三、相通洁净室之间的门应开向洁净度较高的房间。
压差的维持依赖于新风量,这种新风量必须能够补偿在这种压差下从间隙泄漏的风量。因此,压差的物理意义是泄漏(或渗透)风量通过洁净室各间隙时的阻力。

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